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失效分析

标准号:GJB 3233-98   标准名称:半导体集成电路失效分析程序和和方法       1998-03-16

基本信息

【名称】 失效分析
【英文名称】 failue analysis
【定义】 为确定和分析失效器件的失效模式、失效机理、失效原因和失效性质而对失效样品所做的 分析与检查。

同源术语

·缺陷在外形、装配、功能或工艺质量等方面与详细技术规范规定的任何不一致现象。
·可筛选缺陷利用有效的筛选方法可以剔除的缺陷。
·批次性缺陷在设计、制造过程中造成的缺陷并且在同批次器件中多次重复出现(例如:金属化层厚度、 键合强度、绝缘材料性能、金属化布线、键合引线之间以及键合引线与芯片边沿之间的间距不 当或掩模缺陷等)。
·失效模式器件失效的表现形式。
·失效机理导致器件失效的物理、化学变化过程。
·失效原因导致失效发生的直接因素,它包括设计、制造、使用和管理等方面的问题。

相关术语

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·失效模式失效的表现形式。
GJB 727-89 遥测系统术语)
·失效机理导致失效的物理、化学变化等内在原因。
GJB 727-89 遥测系统术语)
·微电子器件单片、多片、膜和混合集成电路,以及构成这些电路的各种元件。
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·故障层次:失效机理、物理失效、逻辑故障、错误“故障层次”把物理缺陷及其起因与故障仿真器及可观察到的效应联系起来。 “失效机理(failure mechanism)”是物理失效的真正起因,例如微电路中铝互连线的电迁移。 “物理失效(physical failure)(简称失效)”是失效机理引起的实际物理缺陷,例如金属互连线开路。 “逻辑故障(logical fault)(简称故障)”是直接由失效引起的结果的逻辑抽象,例如开路金属线导致 逻辑门输入端的“固定 1”行为。 “错误(error)”是在有故障的 DUT 的一个或多个可观察的初始输出端与无故障 DUT 相应输出端 之间逻辑行为的区别。
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·电荷耦合器件利用沿芯片表面耗尽偏置电极下部的脉动电荷存储信息的器件。广泛用于不要求随机存 取的固态图像存储系统。
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·铁电陶瓷显示器件透明强介电性铁电陶瓷[(Pb,La)(Zr,Ti)O3],在外加电场作用下会因局域向列而产生 双折射效应,使透过光受外加电压调制而显示图像的一种受光型显示器。
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·电致发光显示器件利用电致发光材料受到激励而发光的显示器。
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