用户名:
密码:
登 录
个人中心
系统维护
用户注册
联系我们
当前位置 >
首页
> 术语细览
批次性缺陷
标准号:
GJB 5914-2006
标准名称:各种质量等级军用半导体器件破坏性物理分析方法
2006-12-15
基本信息
【名称】
批次性缺陷
【英文名称】
lot related defect
【定义】
在设计、制造过程造成的、在同一批半导体器件中重复出现的缺陷。 例如:半导体器件由于掩膜造成的钝化层、金属化层缺陷等。
同源术语
·
半导体器件
:
在电子线路或电子设备中执行电气、电子、电磁、机电和光电功能的基本单元。该基本单元可由包 括半导体材料在内的多个零件组成,通常不破坏是不能将其分解的。
·
破坏性物理分析
:
为验证半导体器件的设计、结构、材料和制造质量是否满足预定用途或有关规范的要求,对半导体 器件样品进行解剖,以及解剖前后进行一系列检验和分析的全过程。
·
半导体器件质量等级
:
半导体器件装机使用之前,按产品执行标准或供需双方的技术协议,在制造、检验及筛选过程中其 质量的控制等级。 例如:按 GJB/Z 299B-1998 中将军用密封半导体集成电路分为 A1、A2、A3、A4、B1、B2、C1和 C2八个质量等级; 将军用混合集成电路(含多芯片组件)、军用半导体分立器件分为 A1、A2、A3、A4、B1、B2和 C 七个质量等级。
·
生产批
:
在同一生产线上采用相同的设计、结构、材料、工艺、控制,按相同的产品规范制造出来的一批半 导体器件。生产批一般以半导体器件外壳上标注的生产日期代码或批号来识别。
·
缺陷
:
外形、装配、功能或工艺不符合规定的要求即构成缺陷。 当 DPA 用于批质量评价时,除非另有说明,半导体器件的缺陷将作为批拒收的依据。
·
可筛选缺陷
:
可用有效的非破坏性检验方法筛选剔除的缺陷。
相关术语
·
最小假设初始缺陷尺寸
:
为用于分析结构剩余强度和裂纹增长特性而假设的初始最小缺陷。
(
GJB 540.10-88
飞航导弹强度和刚度规范地面试验)
·
初始缺陷
:
初始缺陷是认为导弹在交付使用之前结构就带有的预存缺陷(如孔边角裂纹,孔边穿透裂纹等)。
(
GJB 540.10-88
飞航导弹强度和刚度规范地面试验)
·
缺陷分析
:
通过检查技术及管理(非技术的)数据,确定造成电气、机械及物理特性超出规定界限的原因。
(
GJB 546-88
电子元器件可靠性保证大纲)
·
磁带缺陷
:
指磁带磁层的空洞,表面粘附氧化物或裁带碎屑、磨损产物、外界颗粒状物质,以及裁带宽 度超差。带基材料压光不当等。
(
GJB 727-89
遥测系统术语)
·
玻璃钝化层
:
芯片顶层的透明绝缘材料,它覆盖了除键合区和梁式引线以外的有源电路区。
(
GJB 548B-2005
微电子器件试验方法和程序)
·
玻璃钝化层的裂纹
:
在玻璃钝化层中的细微裂缝。
(
GJB 548B-2005
微电子器件试验方法和程序)
·
金属化层的粘附不良
:
不是由于设计要求而出现的金属化层材料与下面基板的分离,空气桥和由设计切去金属层下部的情 况除外。
(
GJB 548B-2005
微电子器件试验方法和程序)
·
多层布线金属化层(导体 )
:
用于起互连作用的双层或多层金属或任何其他导电材料,这几层材料之间用绝缘材料(也称为层间 介质)彼此隔离(见图 3)。
(
GJB 548B-2005
微电子器件试验方法和程序)
·
工作金属化层(导体)
:
用作起互连作用的所有金属层或任何其他导电材料层,不包括金属化的划片槽、测试图、未连接的 功能电路元件、不使用的键合区和识别标志。
(
GJB 548B-2005
微电子器件试验方法和程序)
·
钝化层
:
在金属淀积之前或在多层布线器件的各金属层之间,在芯片上直接生长或淀积的氧化硅、氮化硅或 其他绝缘材料。
(
GJB 548B-2005
微电子器件试验方法和程序)