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干涉仪系统传递函数

标准号:GJB 6460-2008   标准名称:干涉仪系统传递函数测量台阶板位相比较法       2008-03-17

基本信息

【名称】 干涉仪系统传递函数
【英文名称】 interferometer system transfer function(ISTF)
【定义】 干涉仪系统对波前测量中各空间频率分量的响应函数。

同源术语

·反射波前畸变经被检光学表面反射后的波前相对于标准参考波前的偏差。
·透射波前畸变透过被检光学元件后的波前相对于标准参考波前的偏差。 3.3
·面形误差被检光学面形相对于标准参考光学表面的偏差。
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·台阶板表面起伏噪声台阶板表面粗糙度与台阶高度的比值。
·理论台阶描述为公式(1):

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