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基本信息

【范围】	本标准规定了用台阶板位相比较法测量干涉仪系统传递函数的测量方法。 本标准适用于数字式斐索平面干涉仪系统传递函数的测量。
【与前一版的变化】

包含术语

反射波前畸变：	经被检光学表面反射后的波前相对于标准参考波前的偏差。
透射波前畸变：	透过被检光学元件后的波前相对于标准参考波前的偏差。 3.3
面形误差：	被检光学面形相对于标准参考光学表面的偏差。
功率谱密度：	波前畸变傅里叶频谱振幅的平方与空间采样长度的比值，用于定量描述光学元件波前畸变的空间频 率分布。
干涉仪系统传递函数：	干涉仪系统对波前测量中各空间频率分量的响应函数。
台阶板表面起伏噪声：	台阶板表面粗糙度与台阶高度的比值。
理论台阶：	描述为公式(1)：

引用文件/被引文件

GB/T 1185-2006

光学零件表面疵病

JC/T 185-1996

光学石英玻璃

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包含图表

理论台阶	理论台阶	干涉仪系统传递函数
ISTF 曲线测量	台阶板在测量环境中温	台阶板波前畸变斐索干
台阶板和标准反射镜之	台阶板在干涉腔内放置	波前畸变引入的相对标
测量过程及数据处理方	测量过程及数据处理方	台阶板高度测量引入的
干涉仪 ISTF 相对合成	干涉仪 ISTF 相对扩展	被测干涉仪 ISTF
台阶板位相比较法测量	加汉宁窗后的二维波前	-维平均波前 PSD 计算
-维平均波前 PSD 计算	台阶矩形数据区域-维	ISTF 计算
ISTF 对应的空间频率	ISTF 对应的有效空间	测量报告格式