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电离辐照损伤退火

标准号:GJB 762.2-89   标准名称:半导体器件辐射加固试验方法γ总剂量辐照试验       1989-08-24

基本信息

【名称】 电离辐照损伤退火
【英文名称】 Ionizing irradiation damage annealing
【定义】 负界面态的产生和来自硅中隧道电子与硅一二氧化硅界面附近由电离而累积的空穴电荷 复合,使电离辐照损伤部分或全部恢复。

同源术语

·原位测试当辐照达到某个预定剂量进行电参数测试时,器件保留在受辐照位置。除非另有规定,在 整个辐照过程中,除了在电参数测试的瞬间(一般为几秒),器件连续加有偏置。
·移地测试受试器件从辐照位置移开,进行电参数测试。

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