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适合于半无限大尺寸的样品四探针测量的基本关系
标准号：
GJB 1209-91
标准名称：微电路生产线认证用试验方法和程序
1991-10-18
同源图形
电极常数与电阻率的关
水中颗粒状残留物的浓
残留物浓度p
适合于半无限大尺寸的
薄层电阻
金属薄层的厚度
金属薄层的厚度
θ
吸收系数
样品中的氧含量
腐蚀坑数
外延层厚度
外延层厚度
外延层厚度
可动离子沾污浓度
每种方法所测量的膜厚
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