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失效分析

标准号:GJB 3157-98   标准名称:半导体分立器件失效分析方法和程序       1998-03-16

基本信息

【名称】 失效分析
【英文名称】 failure analysis
【定义】 为确定和分析失效器件的失效模式、失效机理、失效原因及失效后果而对失效器件所做的 检查。

同源术语

·缺陷在外形、装配、功能或工艺质量等方面与详细规范规定的任何不一致现象。
·可筛选缺陷利用筛选方法和检验方法可剔除的缺陷。
·批次性缺陷由设计、制造过程中造成的并在同批次器件中重复出现的缺陷。
·潜在缺陷在某种应力作用下使器件内部造成了轻微损伤,器件的电参数虽仍然合格,但可能造成器 件的某些能力降低或使用寿命缩短。
·失效模式使器件未达到规定的电要求和物理要求而确定为失效器件的拒收原因。
·失效机理引起器件失效的物理、化学或其他的过程。
·失效原因引起器件失效的设计、制造或使用阶段的有关因素。
·常规分析对器件进行一般性的检测,通常是非破坏性的,并可贯穿于器件的每个分析阶段中。
·非破坏性分析不破坏器件被测性能,并能提供特定的信息以帮助证实失效的原因。
·半破坏性分析导致器件性能产生不可逆变化的检测,但器件的有源区不产生不可逆变化,及不妨碍器件 功能的进一步测试。
·破坏性分析对器件进行超出容限规定范围的检测。

相关术语

·失效分析为确定电子元器件电参数超出规定界限的原因,对产品进行检查的过程,从而得到失效模 式、失效机理和激发失效的原因。
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·器件单片、多片、膜和混合集成电路以及构成电路的诸元件。
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·失效模式失效的表现形式。
GJB 727-89 遥测系统术语)
·失效机理导致失效的物理、化学变化等内在原因。
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·微电子器件单片、多片、膜和混合集成电路,以及构成这些电路的各种元件。
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·故障层次:失效机理、物理失效、逻辑故障、错误“故障层次”把物理缺陷及其起因与故障仿真器及可观察到的效应联系起来。 “失效机理(failure mechanism)”是物理失效的真正起因,例如微电路中铝互连线的电迁移。 “物理失效(physical failure)(简称失效)”是失效机理引起的实际物理缺陷,例如金属互连线开路。 “逻辑故障(logical fault)(简称故障)”是直接由失效引起的结果的逻辑抽象,例如开路金属线导致 逻辑门输入端的“固定 1”行为。 “错误(error)”是在有故障的 DUT 的一个或多个可观察的初始输出端与无故障 DUT 相应输出端 之间逻辑行为的区别。
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·铁电陶瓷显示器件透明强介电性铁电陶瓷[(Pb,La)(Zr,Ti)O3],在外加电场作用下会因局域向列而产生 双折射效应,使透过光受外加电压调制而显示图像的一种受光型显示器。
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