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基本信息

GJB/J 5463-2005
光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程
Verification regulation for measurement equipment of optical film refractive index and thickness
2005-12-12
2006-05-01
有效
王雷;黎高平;胡容;杨照金;
中国兵器工业第二○五研究所
中国兵器工业集团公司
中国兵器工业标准化研究所
国防科学技术工业委员会
GJB 832A-2005>通用基础标准>军事计量标准(XFL 0113)
折射率;最大允许误差;测试仪;光学薄膜;检定规程
【范围】 本检定规程规定了光谱范围 250nm~1700nm 椭偏法光学薄膜折射率和厚度测试仪(以下简称测试 仪)的检定技术要求、检定项目、检定条件、检定方法、检定结果的处理和检定周期。 本检定规程适用于新制造、使用中与修理后的测试仪的检定。
【与前一版的变化】

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包含图表

椭偏法光路原理图
椭圆方位角、偏振角和
用薄膜的椭圆函数 ρ
测试仪组成框图
角度误差
偏振角误差
相位差误差
折射率误差
厚度误差
测试仪检定项目及检定

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