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基本信息
【标准号】
GJB/J 5463-2005
【中文名称】
光学薄膜折射率和厚度测试仪检定规程
【英文名称】
Verification regulation for measurement equipment of optical film refractive index and thickness
【发布时间】
2005-12-12
【实施时间】
2006-05-01
【有效性】
有效
【起草人】
王雷
;
黎高平
;
胡容
;
杨照金
;
【起草单位】
中国兵器工业第二○五研究所
【提出单位】
中国兵器工业集团公司
【归口单位】
中国兵器工业标准化研究所
【批准单位】
国防科学技术工业委员会
【分类】
GJB 832A-2005>
通用基础标准
>
军事计量标准
(XFL 0113)
【备案号】
【自动关键词】
折射率
;
最大允许误差
;
测试仪
;
光学薄膜
;
检定规程
【范围】
本检定规程规定了光谱范围 250nm~1700nm 椭偏法光学薄膜折射率和厚度测试仪(以下简称测试 仪)的检定技术要求、检定项目、检定条件、检定方法、检定结果的处理和检定周期。 本检定规程适用于新制造、使用中与修理后的测试仪的检定。
【与前一版的变化】
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包含图表
椭偏法光路原理图
椭圆方位角、偏振角和
用薄膜的椭圆函数 ρ
测试仪组成框图
角度误差
偏振角误差
相位差误差
折射率误差
厚度误差
测试仪检定项目及检定
标准反馈
     反馈标准:
问题类型:
技术性问题
逻辑性问题
应用性问题
编辑性问题
其它问题
反 馈: