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【范围】
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1.1 主题内容
本规范规定了半导体微波器件和微波单片集成电路用砷化镓外延片(以下简称外延片)
的牌号、要求、质量保证规定和交货准备。
1.2 适用范围
本规范适用于半导体微波器件和微波单片集成电路用外延片。
1.3 分类
1.3.1 牌号
外延片的牌号由以下五部分组成：
{6532e5393e27bfd437bab4814597089a.jpg}示例：
WE-V-GaAs-n+n/n-/s.i-Ф40表示半导体微波器件用汽相砷化镓外延片，系半绝缘
砷化镓衬底上先生长n-，再生长n，最后生长n+结构，圆形外延片，直径为40mm。DE-V-GaAs-+n/n-/s.i-Ф50表示微波单片集成电路用汽相砷化镓外延片，系半绝
缘砷化镓衬底上先生长n-，再生长n，最后生长n+
结构，圆形外延片，直径为50mm。
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