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基本信息

【范围】	1.1 主题内容 本标准规定了采用动态流量法(也称为“流导法”)校准真空计的技术要求、原理、装置、校 准程序和校准报告。 1.2 适用范围 本标准用于高真空和超高真空区间(10 -7 ～10 -1 Pa)内的真空计校准。
【与前一版的变化】

包含术语

被校规：	被直接装在真空标准装置上校准的真空传感器。

引用文件/被引文件

GB 3163-82

真空技术名词术语

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包含图表

测量前级流量法(简称	测量前级压力法(简称	测流量法计算公式
测压力法计算公式	标准装置示意图	圆孔的示意图
出口孔的分子流流导计	出口孔的分子流流导计	简化公式修正为
.入口孔分子流流导计	肯纳德经验公式	贝尔曼公式计算
修正公式	在圆柱形容器中孔的示	其值
修正系数计算公式	克努曾系数计算公式	锥形圆孔示意图
锥形孔修正系数K4计算	锥形孔克劳辛修正系数	测压力法误差分析公式
测流量法误差分析公式	采用测压力法误差分析	测流量法误差分析公式
校准室中的真空压力计	偏离理想气体定律修正	有效抽气速率计算公式
出口孔分子流流导相对	流量测量装置中温度的	校准室温度的相对误差
测流量法误差公式中各