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【标准号】: DIN 32567-3-2014
【中文名称】: 微型系统生产设备. 材料对光学和触觉尺寸测量的影响的测定. 第3部分: 触觉测量设备校正值的推导
【英文名称】: Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
【发布时间】: 0001-01-01
【实施时间】
【有效性】: 现行
【起草人】
【起草单位】: DIN-Normenausschuss Feinmechanik und Optik (NAFuO);Optics and Precision Mechanics Standards Committee;
【提出单位】
【归口单位】
【批准单位】: 德国标准化学会
【分类】
【备案号】
【自动关键词】

【范围】	This document specifies methods for tactile topographic measurement of the layer thickness of layer systems, with different mechanical properties of layer and substrate, in order to determine systematic deviations of the measured layer thickness.
【与前一版的变化】

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