全文阅读 全文下载 章节阅读

基本信息

【范围】	本标准规定了陶瓷片状磷、硼扩散源的技术要求、试验方法和验收规则。 本标准适用于晶体管和集成电路制造过程中，对硅片实现磷、硼掺杂所用的陶瓷片状磷、 硼扩散源。
【与前一版的变化】

包含术语

斑点：	产品表面上的色点或色晕。
变形：	目测可见的翘曲
平整：	目测产品表面无凹凸缺陷
缺损：	由于磕碰或其他原因造成的残缺
裂纹：	指产品在厚度方向上不贯通的裂缝。

引用文件/被引文件

GB 2997-82

致密定形耐火制品显气孔率、吸水率、体积密度和真气孔率试验方法

GB 5594.3-85

电子元器件结构陶瓷材料性能测试方法：平均线膨胀系数测试方法

GJB 507-88

氮化硼化学分析方法

GB 2828-81

逐批检查计数抽样程序及抽样表

相关标准

·GJB 732-89

有可靠性指标的塑料膜（或纸—塑料膜）介质（金属、陶瓷或玻璃外壳密封）固定电容器总规范

·GJB 583-88

雷达天线用去母陶瓷材料

·GJB 758-89

高功率微波衰减云母陶瓷

·GJB 56-85

陀螺仪用可加工陶瓷材料

·GJB 56A-90

陀螺仪用可加工陶瓷规范

·GJB 57-86

陀螺仪用可加工陶瓷试验方法

·HB 8112-2002

片状接头搭接线

·HB 8113-2002

横向片状接头搭接线

·HB 8115-2002

片状接头T形搭接线

·GJB 1861-94

膜固定电阻和陶瓷电容RC网络总规范

包含图表

配方	磷扩散源	固态
产品规格	源片的物理性能	源片的蒸发率