| S参数： | S参数(即微波散射参数)是包括模值和相角的矢量。通常其模值用分贝表示，其相角用度
表示。 |
| 比对标准件： | 用于进行参数比对的标准器件，包括标准失配器、标准衰减器和标准空气线。 |
| 校准件： | 用于系统自校准的器件。 |
| 系统准确度： | 测量结果中，系统误差与随机误差的综合，表示测量结果与真值的一致程度。 |
| 系统重复性： | 表征系统在相同测量条件下，经一次校准后，在不重复连接比对标准件状态下，重复五次
测量同一比对标准件时，其测量结果的一致程度。该项测量结果用S表示。 |
| 系统校准重复性： | 表征系统使用相同校准件，分别进行三次校准，每次校准后重复五次测量同一比对标准件
时，其测量结果的一致程度。该项测量结果用Si
表示。 |