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【范围】
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1.1 主题内容
本规范规定了磷化铟单晶研磨片和抛光片(简称磷化铟单晶片)的分类、要求、质量保证规
定和交货准备等。
1.2 适用范围
本规范适用于高压液封直拉法(HPLEC)拉制的用于制造光电器件和高频高速器件的磷
化铟单晶片
1.3 产品分类
1.3.1 分类
产品按导电类型分为n型和p型；按磷化铟单晶片的表面状况分为研磨片和抛光片。
1.3.2 牌号
磷化铟单晶片的牌号表示为：
{afb13ae9414a1c706c3e4563f11778ae.jpg}牌号中的符号含义应符合GB／T 14844的规定。
示例：HPEC－InP－PW－n(Sn)－(111)－Ⅱ表示位错密度为Ⅱ级晶面取向为(111)的
n型掺锡高压液封直拉磷化铟单晶抛光片。LW表示研磨片。
1.3.3 规格
磷化铟单晶片按直径分为30、40、50mm三种规格。
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