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基本信息

【范围】	1.1 主题内容 本规范规定了纳米激光偏振干涉仪(以下简称干涉仪)的技术要求、质量保证规定和交货 准备等。 1.2 适用范围 本规范适用于纳米激光偏振干涉仪的设计、制造和验收。
【与前一版的变化】

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包含图表

合格判据	激光偏振干涉仪示意图	定位系统的分辨力
读数系统的重复性△3检	测量时对零重复性△4检	扩展电容测微仪分辨力
测量重复性△′5：	不确定度